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Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Freitag, Markus ; Sorger, Alexander ; Voigt, Sebastian ; Mehner, Jan
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM)

Numerische und experimentell verifizierte Berechnung fluidischer und thermoelastischer Dämpfung in MEMS

Numeric and experimentally verified modeling of fluidic and thermoelastic damping in MEMS


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Professur Mikrosysteme und Medizintechnik
Dokumentart: Konferenzbeitrag, nicht referiert
ISBN/ISSN: 978-3-8007-4100-7
Quelle: 6. Mikrosystemtechnikkongress Karlsruhe 2015. - VDE Verlag, 2015, CD-ROM
Freie Schlagwörter (Deutsch): MEMS , Modellierung , Dämpfung , Thermoelastische Dämpfung , Fluidische Dämpfung , Dissipation
Freie Schlagwörter (Englisch): MEMS , damping , modeling , thermoelastic damping , fluidic damping

 

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