Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Winkler, Marco
Goedel, Werner A. (Prof. Dr. rer. nat. habil.) ; Marx, G. (Prof. Dr. rer. nat. habil.) ; Hülsenberg, D. (Prof. Dr.-Ing. Dr. rer. oec.) (Gutachter)
Abscheidung von ZrO2 auf oxidischen Fasern und Platin-Iridium-Drähten
Kurzfassung in deutsch
Systematische Untersuchungen zur Abscheidung von Zirconiumdioxid auf keramischen Fasermaterialien und einer Platin-Iridium-Legierung (PtIr20) sowie eine umfassende und vergleichende Charakterisierung der entstandenen Oxidfilme waren Gegenstand dieser Arbeit. Als Precursoren wurden Zirconium(IV)-tetra-tert.-butoxid (ZTB), Zirconium(IV)-chlorid und Sauerstoff verwendet. Für die kontinuierliche Beschichtung der oxidischen Fasern (NEXTEL-720-Multifilamentrovings) wurde ein thermisch induzierter Heißwand-CVD-Prozess (ZrCl4 + O2) entwickelt, die Abscheidung von ZrO2 auf unmodifiziertem bzw. oberflächlich oxidierten PtIr20 fand in einem statisch geführten Kaltwand-CVD-Verfahren unter Verwendung von ZTB statt.Die Charakterisierung der Zirconiumdioxidfilme erfolgte in Abhängigkeit von den Prozessparametern (z.B. Substratart, Beschichtungstemperatur, Zuggeschwindigkeit) mit Methoden wie: Infrarot- und Ramanspektroskopie (Detektion von Verunreinigungen und Phasenzusammensetzung), Röntgendiffraktometrie (Phasenanalyse, Ermittlung von Vorzugsorientierungen), Elektronenstrahlmikroanalyse (Stöchiometrie des ZrO2 und Kohlenstoffgehalt der Schichten), Rasterelektronenmikroskopie (Topologie der Filme) und Bündelzugversuch (Einfluss des ZrO2 auf die 50-%-Zugfestigkeit der Filamente).
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Physikalische Chemie | |
| Fakultät: | Fakultät für Naturwissenschaften | |
| Dokumentart: | Dissertation | |
| Betreuer: | Goedel, Werner A. (Prof. Dr. rer. nat. habil.) | |
| URL/URN: | http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2007/0018/data/Dissertation.pdf | |
| Quelle: | 2007. - 159 S. | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | CVD , APCVD-Verfahren , MOCVD-Verfahren , Zirkoniumdioxid , zirkoniumorganische Verbindungen , anorganische Faser , Langfaser , Zugfestigkeit , Platinlegierung , Iridiumlegierung | |
| Tag der mündlichen Prüfung | 11.01.2007 |
