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Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Frömel, Jörg

Development of wafer level packaging for MEMS micro mirrors


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Professur Smart Systems Integration
Dokumentart: Konferenzbeitrag, nicht referiert
ISBN/ISSN: 978-3-8007-3009-4
Quelle: Smart System Integration. - Paris : VDE Verlag, 2007

 

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