Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Development of wafer level packaging for MEMS micro mirrors
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-3009-4 | |
| Quelle: | Smart System Integration. - Paris : VDE Verlag, 2007 |