Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Thamm, Thomas* ; Körner, K.-U. ; Bohne, Wolfgang ; Strub, Eric ; Röhrich, Jörg ; Stöckel, S. ; Marx, Günter
Characterization of PECVD boron carbonitride layers
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Physikalische Chemie | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 0169-4332 | |
| DOI: | doi:10.1016/j.apsusc.2005.02.041 | |
| Quelle: | In: Applied Surface Science. - Elsevier. - 252. 2005, 1, S. 223 - 226 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | BCN , PECVD , Hardness , Hydrogen content , ERDA , FTIR spectroscopy |
