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Universitätsbibliothek
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Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Jia, Chenping ; Wiemer,M. ; Müller,R. ; Otto,T. ; Geßner, Thomas

Fabrication of embedded micro-channels by intended under-etching and trench filling


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Professur Smart Systems Integration
Dokumentart: Konferenzbeitrag, referiert
ISBN/ISSN: 3-7723-7040-3
Quelle: Proceedings of Micro System Technologies. - Munich (Germany) : Franzis Verlag GmbH, 2005, S. 71 - 75

 

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