Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Jia, Chenping ; Wiemer,M. ; Müller,R. ; Otto,T. ; Geßner, Thomas
Fabrication of embedded micro-channels by intended under-etching and trench filling
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
ISBN/ISSN: | 3-7723-7040-3 | |
Quelle: | Proceedings of Micro System Technologies. - Munich (Germany) : Franzis Verlag GmbH, 2005, S. 71 - 75 |