Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Jia, Chenping ; Wiemer,M. ; Otto,T. ; Gessner,T
Fabrication and characterisation of a bulk micro-machined ultrasonic transducer
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
ISBN/ISSN: | 0-7803-9383-X | |
Quelle: | Proceedings of 2005 IEEE Ultrasonic Symposium. - Rotterdam (Netherlands) : IEEE UFFC, 2005, S. 1945 - 1947 |