Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Jia,C. ;
Wiemer,M. ;
Kurth,S. ;
Otto,T. ;
Gessner,T.
Gessner,Thomas
Design and fabrication of a micromechanical vertical resonator
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Weitere Publikation (u.a. Rezension, Lexikonbeitrag), referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978-3-8007-3009-4 | |
| Quelle: | Smart System Integration. - Paris : VDE, 2007, S. 497 - 499 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | transducer , surface micromachining , mems , microsystem technology |
