Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Naumann, Michael ; Dietze, Olaf ; McNeil, Andrew ; Mehner, Jan ; Daniel, Steven
RELIABILITY OF ANCHORS AT SURFACE MICROMACHINED DEVICES IN SHOCK ENVIRONMENTS
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| URL/URN: | doi:10.1109/Transducers.2013.6626830 | |
| Quelle: | The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII),16-20 June 2013, Barcelona, Spain, 2013, Pages 570 - 573 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , Reliability , Breakage , Shock , Anchor , Fracture Strength |
