Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kolchuzhin, Vladimir ; Mehner, Jan
System level modeling of MEMS at TU Chemnitz MEMS-Design group
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 3937523103 | |
| Quelle: | ANSYS Conference & 31th CADFEM Users’ Meeting 2013, June 19-21, 2013, Mannheim, 10 S., 2013 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | system level modeling, MEMS, reduced order modeling, parametric modeling |
