Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Baumgärtel, Thomas ; von Borczyskowski, Christian ; Graaf, Harald
Detection and stability of nanoscale space charges in local oxidation nanolithography
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Optische Spektroskopie und Molekülphysik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 1361-6528 | |
| URL/URN: | doi:10.1088/0957-4484/23/9/095707 | |
| Quelle: | In: Nanotechnology. - 23. 2012, 9, 095707 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | nanoscale space charges |
