Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Belsky, Petr ; Streiter, Reinhard ; Wolf, Hermann ; Schulz, Stefan. E. ; Aubel, O. ; Gessner, Thomas
Modelling of TDDB in advanced Cu interconncect systems under BTS conditions
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 0167-9317 | |
| URL/URN: | doi:10.1016/j.mee.2011.04.070 | |
| Quelle: | In: Microelectronic Engineering (2011), In Press, Corrected Proof, Available online 5 September 2011 | |
Bemerkung: |
Advanced Metallization Conference 2010 (AMC 2010), Albany, NY (USA), 2010 Oct 5-7, 2010 |
