Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Naumann, Michael ; Lin, David ; Mehner, Jan ; McNeil, Andrew ; Miller, Todd
Design evaluation of shock induced failure mechanisms of MEMS by correlation of numerical and experimental results
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-1-4577-0157-3 | |
| URL/URN: | http://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=5969564 | |
| Quelle: | Transducers, 2011, Peking, 2891 - 2894. - IEEE, 2011. - 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , ROM , Reliability , Shock |
