Ergebnis der Datenbankabfrage
Nr. | Titel | Autor | Jahr |
---|---|---|---|
1 | Mikromechanischer Prozess zur Herstellung mehrlagiger 3D-MEMS (EPyC-Prozess) | Louriki, Latifa | 2021 |
2 | Multilayer Micromechanics Process with Thick Functional Layers (EPyC40) | Louriki, Latifa* et al. | 2017 |
3 | Silicon Sacrificial Layer Technology for the Production of 3D MEMS (EPyC Process) | Louriki, Latifa* et al. | 2017 |
Anzahl der Ergebnisseiten: | 1 |
Anzahl der Dokumente: | 3 |