Ergebnis der Datenbankabfrage
Nr. | Titel | Autor | Jahr |
---|---|---|---|
1 | Surface chemistry models for low temperature Si epitaxy process simulation in a single-wafer reactor | Jäckel, Linda* et al. | 2024 |
2 | Multi-scale simulation of epitaxial processes | Jäckel, Linda* et al. | 2023 |
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Anzahl der Dokumente: | 2 |