| Nr. | Titel | Autor | Jahr |
|---|---|---|---|
| 1 | Process and equipment modeling for chemical thin film deposition | Jäckel, Linda | 2025 |
| 2 | Surface chemistry models for low temperature Si epitaxy process simulation in a single-wafer reactor | Jäckel, Linda* et al. | 2024 |
| 3 | Multi-scale simulation of epitaxial processes | Jäckel, Linda* et al. | 2023 |
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