Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Abel, Johann J.* ; Apell, Jonathan* ; Wiesner, Felix ; Reinhard, Julius ; Wünsche, Martin ; Felde, Nadja ; Schmidl, Gabriele ; Plentz, Jonathan ; Paulus, Gerhard G. ; Lippmann, Stephanie ; Fuchs, Silvio
Non-destructive depth reconstruction of Al-Al2Cu layer structure with nanometer resolution using extreme ultraviolet coherence tomography
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Förderung: | DFG | |
| Institut: | Professur Elektronenmikroskopie und Mikrostrukturanalytik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Print ISSN: 1044-5803 ; Online ISSN: 1873-4189 | |
| DOI: | doi:10.1016/j.matchar.2024.113894 | |
| Quelle: | In: Materials Characterization. - Elsevier BV. - 211. 2024, 113894 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Non-destructive characterization , Microstructure , XUV , Extreme ultraviolet coherence tomography , Transmission electron microscopy , Atomic force microscopy | |
| OA-Lizenz | CC BY 4.0 |
