Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Forke, Roman ; Hiller, Karla ; Hahn, Susann ; Weidlich, Sebastian ; Konietzka, Stefan ; Motl, Tim ; Praedicow, Alexander ; Otto, Thomas
Low Power High Bandwidth Acceleration Sensor For Industrial Applications
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-1-5386-7828-2 , 978-1-5386-7827-5 , 978-1-5386-7829-9 | |
| DOI: | doi:10.1109/ISISS.2019.8739510 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=8739510&tag=1 | |
| Quelle: | 2019 IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems (INERTIAL), 2019 Apr 1-5, Naples, FL (USA). - IEEE Xplore Digital Library, 2019 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , 2-axis , sensor , acceleration , vibration , high bandwidth , BDRIE , analog/mixed signal ASIC , low power |
