Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Friedrich, M. ; Huang, Y. ; Xu, Y. ; Ding, S. ; Ding, L. ; Gordan, Ovidiu-Dorin ; Zahn, Dietrich R. T.
Spectroscopic Ellipsometry Investigation of Ultrathin Nb2O5 and Nb2O5/Al2O3 Layers
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Halbleiterphysik | |
Dokumentart: | Konferenzabstract | |
URL/URN: | http://www.dpg-verhandlungen.de/2010/regensburg/ds9.pdf | |
Quelle: | DPG Frühjahrstagung Regensburg, 21. – 26. 3. 2010, Regensburg, 2010 |