Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Ding, L. ; Friedrich, M. ; Gordan, Ovidiu-Dorin ; Zahn, Dietrich R. T.
In situ Investigation of CuPc Thin Films Grown on Vicinal Si(111)
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Halbleiterphysik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 1071-1023 | |
| URL/URN: | doi:10.1116/1.3442797 | |
| Quelle: | In: Journal of Vacuum Science and Technology. Part B. Microelectronics and Nanometer Structures. - 28. 2010, 4, C5F17 - C5F21 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | copper compounds , ellipsometry , organic semiconductors , semiconductor growth , semiconductor thin films , copper phthalocyanine (CuPc) , Si(111) , hydrofluoric (HF) acid | |
| PACS - Klassifikation: | 68.55.ag , 68.55.jd , 81.05.Fb , 78.66.Qn | |
Bemerkung: |
PAPERS FROM THE 37th ANNUAL CONFERENCE ON THE PHYSICS AND CHEMISTRY OF SEMICONDUCTOR INTERFACES / Organic films, interlayers, and devices |
