Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Peter, Siegfried ; Günther, Marcus ; Hauschild, Dirk ; Richter, Frank
Low temperature plasma enhanced chemical vapor deposition of thin films combining mechanical stiffness, electrical insulation, and homogeneity in microcavities
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Physik fester Körper | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 0021-8979 | |
| URL/URN: | doi:10.1063/1.3474989 | |
| Quelle: | In: Journal of Applied Physics. - 108. 2010, 043303-1 - 043303-12 |
