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Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Günther, Marcus ; Peter, Siegfried ; Richter, Frank

Spatially and time-resolved optical emission spectroscopy of midfrequency pulsed PECVD


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Professur Physik fester Körper
Dokumentart: Konferenzabstract
URL/URN: http://www.dpg-verhandlungen.de/2010/regensburg/ds9.pdf
Quelle: DPG Frühjahrstagung Regensburg, 21. - 26. 3. 2010, Regensburg, 2010

 

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