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Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Schwarz, Ulrich T.*

Ion implanation success


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Professur Experimentelle Sensorik
Dokumentart: Artikel in Fachzeitschrift, referiert
ISBN/ISSN: 1749-4893
DOI: doi:10.1038/s41566-021-00825-8
URL/URN: https://www.nature.com/articles/s41566-021-00825-8
Quelle: In: Nature Photonics. - Springer Nature. 2021
Freie Schlagwörter (Deutsch): LED , Micro-LED , Microsystem Technologie , Ionen Implantation
Freie Schlagwörter (Englisch): LED , Micro-LED , MicrosystemTechnology , Ion Implantation

 

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