Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Ion implanation success
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Experimentelle Sensorik | |
Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
ISBN/ISSN: | 1749-4893 | |
DOI: | doi:10.1038/s41566-021-00825-8 | |
URL/URN: | https://www.nature.com/articles/s41566-021-00825-8 | |
Quelle: | In: Nature Photonics. - Springer Nature. 2021 | |
Freie Schlagwörter (Deutsch): | LED , Micro-LED , Microsystem Technologie , Ionen Implantation | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | LED , Micro-LED , MicrosystemTechnology , Ion Implantation |