Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Jöhrmann, Nathanael* ; Ecke, Ramona ; Wunderle, Bernhard
Nanoindentation as part of material characterization of thin metal films
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Förderung: | Sonstiges | |
| Institut: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-1-7281-6049-8 ; 978-1-7281-6050-4 | |
| DOI: | doi:10.1109/eurosime48426.2020.9152706 | |
| Quelle: | 21st International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems (EuroSimE), 2020 virtual, July 6-27, Cracow, Poland. - IEEE, 2020 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | nanoindentation , AFM , thin film , FEA |
