Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Nabholz, Ulrike ; Stockmar, Florian ; Mehner, Jan E.* ; Degenfeld-Schonburg, Peter*
Validating the Critical Point of Spontaneous Parametric Downconversion for Over 600 Scanning MEMS Micromirrors on Wafer Level
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 2475-1472 | |
| DOI: | doi:10.1109/lsens.2020.2964384 | |
| Quelle: | In: IEEE Sensors Letters. - Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE). - 4. 2020, 1, S. 1 - 4 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Sensor phenomena , critical point , microelectromechanical systems (MEMS) , micromirror , mode coupling , modeling , nonlinear dynamics |
