Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Saggau, Christian N. ; Gabler, Felix ; Karnaushenko, Dmitriy D. ; Karnaushenko, Daniil ; Ma, Libo* ; Schmidt, Oliver G.*
Wafer-Scale High-Quality Microtubular Devices Fabricated via Dry-Etching for Optical and Microelectronic Applications
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Materialsysteme der Nanoelektronik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0935-9648, 1521-4095 | |
| DOI: | doi:10.1002/adma.202003252 | |
| Quelle: | In: Advanced Materials. - Wiley. - 32.2020, 37, 2003252 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | dry release , microcapacitors , roll‐up , self‐assembly , whispering gallery mode resonators | |
| OA-Lizenz | CC BY-NC 4.0 |
