Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Freitag, Markus
Mehner, Jan (Prof. Dr.-Ing.) ; Gerlach, Gerald (Prof. Dr.-Ing. habil.)
Untersuchung der Energiedissipationsprozesse mikromechanischer Systeme
Investigation of the energy dissipation processes of micromechanical systems
Kurzfassung in deutsch
Im Fokus dieser Arbeit stehen Dämpfungseffekte schwingfähiger Mikroelektromechanischer Systeme (MEMS), die nach dem kapazitiven Wirkprinzip arbeiten. Die verschiedenen Dissipationsprozesse und die zugehörigen analytischen Modelle sowie numerischen Berechnungsmöglichkeiten auf physikalischer Ebene werden vorgestellt und mit eigenen experimentellen Ergebnissen verglichen. Der Schwerpunkt liegt dabei auf der fluidischen Dämpfung im Kontinuum und bei leichter Verdünnung, was bei den meisten kapazitiven MEMS den dominierenden Verlusteffekt darstellt.
Kurzfassung in englisch
This thesis focuses on damping effects of vibrational micro-electromechanical systems (MEMS) with capacitive working principle. The different dissipation processes and the associated analytical models as well as numerical calculation possibilities on a physical level are presented and compared to own experimental results. The main emphasis is on fluidic damping in the continuum regime and with slight rarefaction, which is the dominant loss effect in most capacitive MEMS.
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Fakultät: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik | |
| Dokumentart: | Dissertation | |
| Betreuer: | Mehner, Jan (Prof. Dr.-Ing.) | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-96100-113-2 | |
| URL/URN: | https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa2-386949 | |
| Quelle: | Chemnitz : Universitätsverlag Chemnitz, 2020. - 271 S. | |
| SWD-Schlagwörter: | Dämpfung , Dissipation , MEMS | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Squeeze-Film-Dämpfung , Slide-Film-Dämpfung , CFD , Einspannverluste , thermoelastische Dämpfung | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | damping , dissipation , MEMS , squeeze-film-damping , slide-film-damping , anchor loss , thermoelastic damping | |
| DDC-Sachgruppe: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften | |
| Sprache: | deutsch | |
| Tag der mündlichen Prüfung | 07.02.2020 | |
| OA-Lizenz | CC BY 4.0 |
