Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Zahn, Dietrich R. T.* ; Schulz, Stefan E. ; Hiller, Karla ; Wagner, Christian ; Reuter, Danny ; Otto, Thomas
Sensoric Micro and Nano Systems
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Halbleiterphysik | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 3: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 1862-6319 | |
| DOI: | doi:10.1002/pssa.201900733 | |
| URL/URN: | https://onlinelibrary.wiley.com/doi/full/10.1002/pssa.201900733 | |
| Quelle: | Physica Status Solidi. A: Applications and Materials Science. - Weinheim : WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA. - 216.2019, 19, 1900733 |
