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Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Kaupmann, Philip* ; Pinter, Stefan ; Franz, Jochen ; Streiter, Reinhard ; Otto, Thomas

A Novel Indirect Quasi-Static Actuation Concept for 2D MEMS Micromirrors


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Professur Smart Systems Integration
Dokumentart: Artikel in Fachzeitschrift, referiert
ISBN/ISSN: 1057-7157 ; 1941-0158
DOI: doi:10.1109/JMEMS.2019.2897755
URL/URN: https://ieeexplore.ieee.org/document/8645793
Quelle: In: Journal of Microelectromechanical Systems (IEEE/ASME). - IEEE Xplore Digital Library. - 28. 2019, 2, S. 226 - 234
Freie Schlagwörter (Englisch): MEMS , micromirror , static actuation , gyroscopic actuation

 

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