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Universitätsbibliothek
Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Helke, Christian* ; Hiller, Karla ; Seiler, Jan ; Erben, Jens W. ; Werner, Thomas ; Reuter, Danny ; Meinig, Marco ; Kurth, Steffen ; Otto, Thomas

Nanostructured al SWG Reflectors on thin LP-Si3N4 Membranes as (TiO2/SiO2)³ Bragg Reflector Alternative for Vis Fabry-Pérot Interferometers


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut 1: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Institut 2: Professur Smart Systems Integration
Dokumentart: Konferenzbeitrag, referiert
ISBN/ISSN: 978-1-5386-8104-6 , 978-1-5386-8105-3 , 2167-0021 , 2167-0013
DOI: doi:10.1109/TRANSDUCERS.2019.8808419
URL/URN: https://ieeexplore.ieee.org/document/8808419
Quelle: 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems & Eurosensors XXXIII (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII), 2019 June 23-27, Berlin, (Germany), pp. 470-473. - IEEE Xplore Digital Library, 2019
Freie Schlagwörter (Englisch): Silicon , Reflectivity , Bandwidth , Optical filters , Micromechanical devices , Resists , Fabry-Pérot Interferometer , tunable filter , VIS , micro spectrometer , TiO2 , Si3N4 , SWG , membrane , reflector

 

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