Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Helke, Christian* ; Hiller, Karla ; Seiler, Jan ; Erben, Jens W. ; Werner, Thomas ; Reuter, Danny ; Meinig, Marco ; Kurth, Steffen ; Otto, Thomas
Nanostructured al SWG Reflectors on thin LP-Si3N4 Membranes as (TiO2/SiO2)³ Bragg Reflector Alternative for Vis Fabry-Pérot Interferometers
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
ISBN/ISSN: | 978-1-5386-8104-6 , 978-1-5386-8105-3 , 2167-0021 , 2167-0013 | |
DOI: | doi:10.1109/TRANSDUCERS.2019.8808419 | |
URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/document/8808419 | |
Quelle: | 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems & Eurosensors XXXIII (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII), 2019 June 23-27, Berlin, (Germany), pp. 470-473. - IEEE Xplore Digital Library, 2019 | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | Silicon , Reflectivity , Bandwidth , Optical filters , Micromechanical devices , Resists , Fabry-Pérot Interferometer , tunable filter , VIS , micro spectrometer , TiO2 , Si3N4 , SWG , membrane , reflector |