Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Hertel, Silvia ; Jobke, Antje ; Wiemer, Maik ; Reuter, Danny ; Otto, Thomas
Fabrication of Nano Porous Gold towards Wafer Level Packaging
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-4919-5 ; 978-3-8007-4878-5 | |
| URL/URN: | https://www.content-select.com/index.php?id=bib_view&ean=9783800748785 | |
| Quelle: | Smart Systems Integration, 2019 April 10-11, Barcelona (Spain), S. 169-176. - Berlin · Offenbach : VDE VERLAG GMBH, 2019 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | EDX analysis of layer composition , SEM images of dealloyed samples of the top view and cross-sections |
