Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Baum, Mario* ; Nooshin, Saeidi ; Vogel, Klaus ; Schröder, Tim ; Selvam, Karman G. M. ; Wiemer, Maik ; Otto, Thomas
An Improved Design for 2D Arrays of Capacitive Micromachined Ultrasound Transducers: Modeling, Fabrication, and Characterization
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 1948-5727 , 1948-5719 , 978-1-5386-3425-7 , 978-1-5386-3426-4 | |
| DOI: | doi:10.1109/ULTSYM.2018.8579656 | |
| Quelle: | IEEE International Ultrasonic Symposium, Kobe (Japan), 2018 Oct 22-25. - IEEE xplore, 2018. - 18326814 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | CMUT , multi layer membrane , film stress , wafer bonding |
