Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Al Farisi, Muhammad Salman* ; Hertel, Silvia ; Wiemer, Maik ; Otto, Thomas
Investigation of aluminum patterned electrodeposition process from AlCl3-[EMIm]Cl Ionic Liquid for microsystems application
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-4-9902-1885-0 , 978-4-9902-1884-3 , 978-1-5386-4864-3 | |
| DOI: | doi:10.23919/ICEP.2018.8374336 | |
| Quelle: | 2018 International Conference on Electronics Packaging and iMAPS All Asia Conference (ICEP-IAAC), 2018 Apr 17-21, Kuwana (Japan), pp. 415-418. - IEEE xplore, 2018. - 17823465 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Aluminum , electro chemical deposition , ionic liquid , recurrent galvanic pulse |
