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Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Al Farisi, Muhammad Salmann* ; Hertel, Silvia ; Wiemer, Maik ; Otto, Thomas

Aluminum Patterned Electroplating from AlCl3–[EMIm]Cl Ionic Liquid towards Microsystems Application


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Professur Smart Systems Integration
Dokumentart: Artikel in Fachzeitschrift, referiert
ISBN/ISSN: 2072-666X
DOI: doi:10.3390/mi9110589
URL/URN: https://www.mdpi.com/2072-666X/9/11/589/htm
Quelle: In: Micromachines 2018. - MDPI AG. - 9(11), 589; https://doi.org/10.3390/mi9110589. 2018, 11, 589. - This paper is an extended version of our published paper “Investigation of aluminum patterned electrodeposition process from AlCl3–[EMIm]Cl ionic liquid for microsystems application”. In Proceedings of the 2018 International Conference on Electronics Packaging and iMAPS All Asia Conference (ICEP-IAAC), Mie, Japan, 17–21 April 2018
Freie Schlagwörter (Englisch): aluminum , electro-chemical deposition , ionic liquid , recurrent galvanic pulse , patterned deposition
OA-Lizenz CC BY 4.0

 

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