Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Heldt, Georg ;
Meinecke, Christoph ;
Steenhusen, Sönke ;
Korten, Till ;
Groß, Matteo ;
Domann, Gerhard ;
Lindberg, F. ;
Reuter, Danny ;
Diez, S. ;
Linke, H. ;
Schulz, Stefan E.
Behringer, Uwe F.W. ; Finders, Jo (eds.)
Approach to combine electron-beam lithography and two-photon polymerization for enhanced nano-channels in network-based biocomputation devices
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN: 0277-786X ; ISSN: 1996-756X (electronic) ; ISBN: 9781510621213 ; ISBN: 9781510621220 (electronic) | |
| DOI: | doi:10.1117/12.2326598 | |
| Quelle: | 34th European Mask and Lithography Conference; Grenoble (France); 2018 Jun 19-20; SPIE Proceedings; 10775 (2018). - SPIE, 2018 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Elektronenstrahl-Lithographie , Lithographie , Druckmessung , Polymerisation , Nanokanäle , Biocomputer | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | . |
