Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Böttger, Simon ; Jöhrmann, Nathanael ; Bonitz, Jens ; Wunderle, Bernhard ; Schulz, Stefan E. ; Hermann, Sascha
Scaling up Integration of Carbon Nanotubes into Micro-Electro-Mechanical Systems
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-95735-082-4 | |
| Quelle: | Smart Systems Integration (SSI); Dresden (Germany); 2018 Apr 11-12, Proceedings. - Auerbach/V. : Verlag Wissenschaftliche Scripten, 2018. - pp 243-249 | |
Bemerkung: |
_MA!N_ |
