Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Delmdahl, Ralph* ; Pätzel, Rainer ; Brune, Jan ; Senczuk, Rolf ; Goßler, Christian ; Moser, Rüdiger ; Kunzer, Michael ; Schwarz, Ulrich T.
Line beam processing for laser lift-off of GaN from sapphire
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Experimentelle Sensorik | |
Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
ISBN/ISSN: | 1862-6300 | |
DOI: | doi:10.1002/pssa.201228430 | |
Quelle: | In: physica status solidi (a). - Wiley. - 209. 2012, 12, S. 2653 - 2658 | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | GaN , laser lift‐off , sapphire |