Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Lang, Heinrich* ; Pousaneh, Elaheh ; Rüffer, Tobias ; Assim, Khaybar ; Dzhagan, Volodymyr M. ; Noll, Julian ; Zahn, Dietrich R. T. ; Mertens, Lutz ; Mehring, Michael ; Schulz, Stefan E.
Magnesium β-Ketoiminates as CVD Precursors for MgO Formation
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Förderung: | DFG | |
Institut 1: | Professur Anorganische Chemie | |
Institut 2: | Professur Halbleiterphysik | |
Institut 3: | Professur Koordinationschemie | |
Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
ISBN/ISSN: | 2046-2069 | |
DOI: | doi:10.1039/C8RA01851K | |
URL/URN: | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa2-214278 | |
Quelle: | In: RSC Advances. - Royal Society of Chemistry. - 35.2018,8, 19668 | |
Freie Schlagwörter (Deutsch): | Magnesium beta-ketoiminate , Gasphasen Abscheidung , Zersetzung , Magnesiumoxid , Dünne Filme | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | Magnesium beta-ketoiminates , Chemical Vapor Deposition , Decomposition , Magnesium oxide , Thin Films | |
OA-Lizenz | CC BY-NC 3.0 |