Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Berger, Thomas* ; Schulze, Hans-Peter ; Hackert-Oschätzchen, Matthias ; Herzig, Mathias ; Kröning, Oliver ; Schubert, Andreas
Design of a High Dynamic Piezo Module for Resource-efficient Electrothermal Precision Ablation
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrofertigungstechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| DOI: | doi:10.1016/j.procir.2017.12.153 | |
| URL/URN: | https://doi.org/10.1016/j.procir.2017.12.153 | |
| Quelle: | 19th CIRP Conference on Electro Physical and Chemical Machining, 23.-27.04.2018, Bilbao, Spain, S. 678-683. - 68.2018. - Procedia CIRP | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Microfabrication , Electrical Discharge Machining , Piezo System , Precision , Process Analysis | |
| OA-Lizenz | CC BY-NC-ND 4.0 |
