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Universitätsbibliothek
Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Nabholz, Ulrike* ; Heinzelmann, Wolfgang ; Mehner, Jan E. ; Degenfeld-Schonburg, Peter

Amplitude- and gas pressure-dependent nonlinear damping of high-Q oscillatory MEMS micro mirrors


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Professur Mikrosysteme und Medizintechnik
Dokumentart: Artikel in Fachzeitschrift, referiert
ISBN/ISSN: Print ISSN: 1057-7157 ; Electronic ISSN: 1941-0158
DOI: doi:10.1109/JMEMS.2018.2816240
URL/URN: http://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=8329233&isnumber=4357932
Quelle: In: Journal of Microelectromechanical Systems. - IEEE, 2018
Freie Schlagwörter (Englisch): Damping , Force , Layout , Micromechanical devices , Mirrors , Oscillators , Springs , Microelectromechanical Devices , microactuators , modeling , nonlinear oscillators

 

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