Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Nabholz, Ulrike* ; Heinzelmann, Wolfgang ; Mehner, Jan E. ; Degenfeld-Schonburg, Peter
Amplitude- and gas pressure-dependent nonlinear damping of high-Q oscillatory MEMS micro mirrors
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
ISBN/ISSN: | Print ISSN: 1057-7157 ; Electronic ISSN: 1941-0158 | |
DOI: | doi:10.1109/JMEMS.2018.2816240 | |
URL/URN: | http://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=8329233&isnumber=4357932 | |
Quelle: | In: Journal of Microelectromechanical Systems. - IEEE, 2018 | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | Damping , Force , Layout , Micromechanical devices , Mirrors , Oscillators , Springs , Microelectromechanical Devices , microactuators , modeling , nonlinear oscillators |