Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Hofmann, Lutz ; Zienert, Andreas ; Schuster, Jörg ; Schulz, Stefan E.
Elektrochemische Pulsstromabscheidung von Kupfer für Si-Durchkontakte in MEMS: Experiment und Simulation
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
ISBN/ISSN: | 978-3-8007-4491-6 | |
Quelle: | MikroSystemTechnik Kongress, Munich (Germany), 2017 Oct 23-25; Proceedings, p. 4 |