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Universitätsbibliothek
Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Hofmann, Lutz ; Zienert, Andreas ; Schuster, Jörg ; Schulz, Stefan E.

Elektrochemische Pulsstromabscheidung von Kupfer für Si-Durchkontakte in MEMS: Experiment und Simulation


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Dokumentart: Konferenzbeitrag, referiert
ISBN/ISSN: 978-3-8007-4491-6
Quelle: MikroSystemTechnik Kongress, Munich (Germany), 2017 Oct 23-25; Proceedings, p. 4

 

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