Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Hu, Xiao* ; Schuster, Jörg ; Schulz, Stefan E.
Multiparameter and Parallel Optimization of ReaxFF Reactive Force Field for Modeling the Atomic Layer Deposition of Copper
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Print Edition ISSN: 1932-7447 ; Web Edition ISSN: 1932-7455 | |
| DOI: | doi:10.1021/acs.jpcc.7b09948 | |
| Quelle: | In: The Journal of Physical Chemistry C. - American Chemical Society. - 121. 2017, 50, S. 28077 - 28089 |
