Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Putnik, Martin* ; Cardanobile, Stefano ; Kehrberg, Steven ; Nagel, Cristian ; Degenfeld-Schonburg, Peter ; Kuehnel, Matthias ; Mehner, Jan
A static approach for the frequency shift of parasitic excitations in MEMS gyroscopes with geometric nonlinear drive mode
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 978-1-5090-3234-1 ; Print on Demand(PoD) ISBN: 978-1-5090-3235-8 | |
| URL/URN: | doi:10.1109/ISISS.2017.7935651 | |
| Quelle: | IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems (INERTIAL), Kauai, HI, USA, 27-30 March 2017, pp. 144-147 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , gyroscope , nonlinearity |
