Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Sorger, Alexander* ; Classen, Johannes ; Mehner, Jan
Capacitive sensing electrodes with reduced squeeze-film damping
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 978-1-5386-2732-7 ; Print on Demand(PoD) ISBN: 978-1-5386-2733-4 ; Electronic ISSN: 2167-0021 | |
| URL/URN: | doi:10.1109/TRANSDUCERS.2017.7994228 | |
| Quelle: | 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Mi19th International Conference on Solid-State Sensorscrosystems Transducers 2017, Kaohsiung, Taiwan, 18.-22. Juni 2017 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , sensing electrodes , squeeze-film damping |
