Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Motaragheb Jafarpour, Saeed* ;
Mandar, Kini ;
Schulz, Stefan E. ;
Hermann, Sascha
Wilson, Christopher J. ; Detavernier, Christophe (Eds.)
Effects of catalyst configurations and process conditions on the formation of catalyst nanoparticles and growth of single-walled carbon nanotubes
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN: 0167-9317 | |
| URL/URN: | doi:10.1016/j.mee.2016.11.007 | |
| Quelle: | In: Microelectronic Engineering (special issue: Materials for Advanced Metallization 2016 (MAM 2016). - Elsevier. - 167. 2017, S. 95 - 104 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Catalytic chemical vapour deposition (CCVD) , Catalyst nanoparticle , Single-walled carbon nanotubes , Raman spectroscopy |
