Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Meszmer, Peter* ; Hiller, Karla ; Rodriguez, Raul D. ; Sheremet, Evgeniya ; Zahn, Dietrich R. T. ; Hietschold, Michael ; Wunderle, Bernhard
Raman Based Stress Analysis of the Active Areas of a Piezoresistive MEMS Force Sensor - Experimental Setup, Data Processing, and Comparison to Numerically Obtained Results
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 3: | Professur Halbleiterphysik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 978-1-5090-2106-2 ; USB ISBN: 978-1-5090-2120-8 | |
| DOI: | doi:10.1109/EuroSimE.2016.7463340 | |
| URL/URN: | http://dx.doi.org/10.1109/EuroSimE.2016.7463340 | |
| Quelle: | 17th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems (EuroSimE), 2016 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | MEMS , Raman , Stress , Simulation , Experiment | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , Raman , stress , simulation , experiment |
