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Universitätsbibliothek
Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Fiedler, Holger* ; Toader, Marius ; Hermann, Sascha ; Rennau, Michael ; Rodriguez, Raul D. ; Sheremet, Evgeniya ; Hietschold, Michael ; Zahn, Dietrich R. T. ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas

Back-end-of-line compatible contact materials for carbon nanotube based interconnects


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut 1: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Institut 2: Professur Halbleiterphysik
Institut 3: Professur Analytik an Festkörperoberflächen
Dokumentart: Artikel in Fachzeitschrift, referiert
ISBN/ISSN: ISSN: 0167-9317
URL/URN: doi:10.1016/j.mee.2014.11.004
Quelle: In: Microelectronic Engineering. - Elsevier. - 137. 2015, S. 130 - 134
Freie Schlagwörter (Englisch): Carbon nanotube , Interconnect , Contact resistance, Atomic force microscopy

 

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