Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Fiedler, Holger* ; Toader, Marius ; Hermann, Sascha ; Rennau, Michael ; Rodriguez, Raul D. ; Sheremet, Evgeniya ; Hietschold, Michael ; Zahn, Dietrich R. T. ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas
Back-end-of-line compatible contact materials for carbon nanotube based interconnects
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
Institut 2: | Professur Halbleiterphysik | |
Institut 3: | Professur Analytik an Festkörperoberflächen | |
Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
ISBN/ISSN: | ISSN: 0167-9317 | |
URL/URN: | doi:10.1016/j.mee.2014.11.004 | |
Quelle: | In: Microelectronic Engineering. - Elsevier. - 137. 2015, S. 130 - 134 | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | Carbon nanotube , Interconnect , Contact resistance, Atomic force microscopy |