Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Hu, Xiao* ; Zienert, Andreas ; Schuster, Jörg ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas
Reactive Molecular Dynamics Study of Copper Metal and Copper Oxide Atomic Layer Deposition from Copper(II) Acetylacetonate
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| URL/URN: | http://www2.avs.org/conferences/ALD/2015/index.html | |
| Quelle: | 15th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2015), Portland (USA), 2015 June 28 - July 02, 2015 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | atomic layer deposition , cu acetylacetonate , density functional theory , DFT |
