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Universitätsbibliothek
Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Hu, Xiao ; Schuster, Jörg ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas

Simulation of ALD chemistry of (nBu3P)2Cu(acac) and Cu(acac)2 precursors on Ta(110) surface


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut 1: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Institut 2: Professur Smart Systems Integration
Dokumentart: Artikel in Fachzeitschrift, referiert
ISBN/ISSN: ISSN: 0167-9317
URL/URN: doi:10.1016/j.mee.2015.02.017
Quelle: In: Microelectronic Engineering. - 137. 2015, S. 23 - 31
Freie Schlagwörter (Englisch): Atomic layer deposition (ALD) , Cu acetylacetonate; Density functional theory (DFT) , Thermodynamic analysis , Ta(110) surface , Combustion reactions

 

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