Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Bülz, Daniel ; Thoma, Patrick ; Monecke, Manuel ; Fronk, Michael ; Salvan, Georgeta ; Zahn, Dietrich R. T.
Temperature Dependent Electrical Charge Carrier Mobility and Concentration Measurements of Sputter Silicon Films
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Halbleiterphysik | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| ISBN/ISSN: | 0420-0195 | |
| Quelle: | DPG Frühjahrstagung Dresden, 30.03. - 04.04.2014 |