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Universitätsbibliothek
Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Dhakal, Dileep ; Waechtler, Thomas ; E. Schulz, Stefan ; Mothes, Robert ; Moeckel, Stefan ; Lang, Heinrich ; Gessner, Thomas

In-situ XPS Investigation of ALD Cu2O and Cu Thin Films after Successive Reduction


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut 1: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Institut 2: Professur Anorganische Chemie
Dokumentart: Konferenzbeitrag, nicht referiert
URL/URN: http://www.ald2014.org/ ; http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-147043
Quelle: 14th International Conference in Atomic Layer Deposition, 15-18 June 2014, Kyoto, Japan, 2014
Freie Schlagwörter (Englisch): Atomic Layer Deposition (ALD) , Cuprous Oxide (Cu2O) , X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS) , Surface Chemistry
DDC-Sachgruppe: Chemie, Ingenieurwissenschaften

 

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