Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Lehmann, Daniel* ; Seidel, Falko ; Zahn, Dietrich R. T.
Thin films with high surface roughness: thickness and dielectric function analysis using spectroscopic ellipsometry
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Halbleiterphysik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 2193-1801 | |
| URL/URN: | doi:10.1186/2193-1801-3-82 http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-136724 | |
| Quelle: | In: SpringerPlus. - 82. 2014, 3, S. 1 - 8 | |
| SWD-Schlagwörter: | Ellipsometrie, Rauigkeit, Schichtdicke, Dielektrische Funktion | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Rauheit , AFM , RMS , PTCDI | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Ellipsometry , Roughness , Thickness , AFM , RMS , Dielectric function , PTCDI | |
| DDC-Sachgruppe: | Naturwissenschaften und Mathematik, Physik, Licht, Infrarot- und Ultraviolettphänomene | |
| OA-Lizenz | CC BY 2.0 |
